盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称盛美上海）成立于2005年，是上海市政府科教兴市项目重点引进的集成电路装备企业，也是具备世界先进技术的半导体设备制造商。
盛美上海集研发、设计、制造、销售功能于一体，为全球客户提供半导体设备。其主要产品涵盖单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。
盛美上海秉持差异化竞争与创新的发展战略，凭借自主研发的单片兆声波清洗技术、单片槽式组合清洗技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等，为全球晶圆制造、先进封装及其他客户提供定制化的设备及工艺解决方案，有效提升客户的生产效率、产品良率，同时降低生产成本。
盛美上海具备高新技术企业资质，连续多年荣膺中国半导体设备五强企业称号，先后承担多个国家科技重大专项项目主要课题的研发工作。公司立足自主创新，经过多年技术研发与工艺积累，成功研制出SAPS/TEBO兆声波清洗技术和Tahoe单片槽式组合清洗技术，应用于28nm及以下技术节点的晶圆清洗领域。SAPS和TEBO攻克了兆声波清洗技术在单片清洗设备上应用的两大难题；Tahoe单片槽式组合清洗设备较现有单片清洗设备大幅减少了硫酸使用量，在助力客户降低生产成本的同时，满足了节能减排的要求。
凭借先进技术和丰富产品线，盛美上海已发展成为中国大陆少数具备一定国际竞争力的半导体专用设备提供商，其产品获得众多国内外主流半导体厂商认可，拥有良好的市场口碑。